Trifluoruro de nitrógeno

NF₃

IUPAC: Nitrogen trifluoride

CAS: 7783-54-2

Descripción general

NF₃ is a colorless gas widely used in the semiconductor industry for plasma etching and chamber cleaning of chemical vapor deposition equipment.

Composición

Elemento Símbolo Átomos Masa atómica
Nitrógeno N 1 14,0070
Flúor F 3 18,9980

Composición elemental

N
Nitrógeno ×1
19,7%
F
Flúor ×3
80,3%

Usos

  • • Semiconductor manufacturing
  • • Plasma etching
  • • CVD chamber cleaning

Datos curiosos

  • ✦ One of the most potent greenhouse gases per molecule known

Seguridad

  • ⚠ Oxidizer
  • ⚠ Greenhouse gas (17,200x CO₂)

Estructura

SMILES

N(F)(F)F

Propiedades

Tipo
inorganic
Estado
gas
Masa molar
71,00 g/mol
Densidad
0,0031 g/cm³
Punto de fusión
-206,8 °C
Punto de ebullición
-129,1 °C
Solubilidad
slightly soluble

Descriptores moleculares

Masa exacta
70,9983
XLogP
1,9
TPSA
3,2 Ų
Donadores de enlace de hidrógeno
0
Aceptores de enlace de hidrógeno
4
Enlaces rotables
0
Átomos pesados
4
Complejidad
8,0

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Frequently Asked Questions

What is Trifluoruro de nitrógeno?
Trifluoruro de nitrógeno (NF₃) is a inorganic compound with the IUPAC name Nitrogen trifluoride.
What is the molecular weight of Trifluoruro de nitrógeno?
Trifluoruro de nitrógeno has a molar mass of 71.0 g/mol.
What state is Trifluoruro de nitrógeno at room temperature?
Trifluoruro de nitrógeno is a gas at room temperature.
Is Trifluoruro de nitrógeno organic or inorganic?
Trifluoruro de nitrógeno is classified as an inorganic compound.
What elements make up Trifluoruro de nitrógeno?
Trifluoruro de nitrógeno (NF₃) is composed of Nitrógeno (N), Flúor (F).